Baudrant, Annie Thermal Treatment in Microelectronics ISTE
1. Auflage Juni 2011 125,- Euro 2011. 368 Seiten, Hardcover ISBN 978-1-84821-231-2 - John Wiley & Sons
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Kurzbeschreibung The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.
