|  | Menz, Wolfgang / Mohr, Jürgen / Paul, Oliver
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
 3., completely revised and enlarged Edition - May 2005
89.- Euro
2005. XVI, 574 Pages, Softcover
250 Fig., 15 Tab.
- Textbook -
ISBN-10: 3-527-30536-X
ISBN-13: 978-3-527-30536-0 - Wiley-VCH, Weinheim
Sample Chapter
Author affiliation
W. Menz, Albert-Ludwigs-Universität, Institut f. Mikrotechnik, Freiburg; J. Mohr, Kernforschungszentrum Karlsruhe; O. Paul, Universität Freiburg, Institut f. Mikrosystemtechnik, Freiburg
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