3., completely revised and enlarged Edition - May 2005
89.- Euro
2005. XVI, 574 Pages, Softcover
250 Fig., 15 Tab. 
- Textbook -
ISBN-10: 3-527-30536-X
ISBN-13: 978-3-527-30536-0 - Wiley-VCH, Weinheim






Sample Chapter



Reviews
"Die völlig neu bearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die Trends dieses Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Vor allem die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert... Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in das aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen."
Wirtschaft Region Fulda IHK

"Das Buch ist insgesamt ein gelungener Versuch, die Grundlagen der Mikrosystemtechnik in einem Lehrwerk darzustellen."
CIT