3., vollst. überarb. u. erw. Auflage - Mai 2005
89,- Euro
2005. XVI, 574 Seiten, Softcover
250 Abb., 15 Tab. 
- Lehrbuch -
ISBN-10: 3-527-30536-X
ISBN-13: 978-3-527-30536-0 - Wiley-VCH, Weinheim

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Probekapitel



Langtext
Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.