3., vollst. überarb. u. erw. Auflage - Mai 2005
89,- Euro
2005. XVI, 574 Seiten, Softcover
250 Abb., 15 Tab. 
- Lehrbuch -
ISBN-10: 3-527-30536-X
ISBN-13: 978-3-527-30536-0 - Wiley-VCH, Weinheim

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Probekapitel



Kurzbeschreibung
Die dritte Auflage dieses überaus erfolgreichen Lehrbuchs, Standardwerk zur MST, wurde vor allem auf dem Gebiet der Si-Technik, Materialien und alternative Technologien stark erweitert und den Fortschritten in diesem sich rasant entwickelnden, interdisziplinären Gebiet angepasst.

Aus dem Inhalt
ALLGEMEINE EINFÜHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIK
Was ist Mikrostrukturtechnik?
Von der Mikrostrukturtechnik zur Mikrosystemtechnik
DIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIK
Fertigungskonzepte der Mikroelektronik
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraumtechnik
DIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIK
Ein Ausflug in die Quantenmechanik
Kristalle und Kristallographie
Materialien der Mikrotechnik
Grundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen Abscheidung
BASISTECHNOLOGIEN DER MIKROTECHNIK
Grundlagen der Vakuumtechnik
Erzeugung von Dünnschichten
Abtragen und Strukturieren von Dünnschichten
Oberflächenanalyse
LITHOGRAPHIE
Überblick und Historie
Resists
Strukturübertragung
Maskenfertigung
Strahlungsquellen
DIE SILIZIUM-MIKROMECHANIK
Mikromechanische Grundstrukturen
Die Oberflächen-Mikrotechnik
Anwendungsbeispiele
DAS LIGA-VERFAHREN
Überblick
Maskenherstellung
Röntgentiefenlithographie
Galvanik
Abformung
Varianten der LIGA-Technik
Anwendungsbeispiele
ALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNG
Mechanische Mikrofertigung
Laser-Ablation
Ionenverfahren
AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT)
Hybridtechniken
Kontaktierungstechniken
Klebetechnik
Anodisches Bonden
Gehäusung
SYSTEMTECHNIK
Definition eines Mikrosystems
Entwurf, Simulation und Test von Mikrosystemen
Signalverarbeitung für Sensoren in Mikrosystemen
Industrielle Konzepte der Mikrosystemfertigung
ANWENDUNGEN
Allgemeine Meß- und Regeltechnik
Optische Kommunikation
Medizintechnik
Ausblick