|  | Baltes, Henry / Brand, Oliver / Fedder, Gary K. / Hierold, Christofer / Korvink, Jan G. / Tabata, Osamu (Hrsg.)
CMOS-MEMS
Advanced Micro and Nanosystems (Band 2)
 1. Auflage - Januar 2005
265,- Euro*
2005. XII, 596 Seiten, Hardcover
312 Abb., 32 Tab.
- Handbuch/Nachschlagewerk -
ISBN-10: 3-527-31080-0
ISBN-13: 978-3-527-31080-7 - Wiley-VCH, Weinheim
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* Serienpreis auf Anfrage bei service@wiley-vch.de
Probekapitel
Kurzbeschreibung
Mikrostrukturforschung, Elektronik und Nanotechnologie wachsen im Zuge der Miniaturisierung von Bauelementen zu einem großen interdisziplinären Forschungsgebiet zusammen. Die neue Reihe "Advanced Micro and Nano Systems" widmet sich Technologien, Bauelementen und Systemen aus der Mikro- und der Nanowelt mit Beiträgen renommierter Spitzenforscher. In diesem Band finden Sie ausführliche Angaben zu Sensoren und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) auf CMOS-Basis - von materialtechnischen Aspekten über designspezifische Informationen bis zu Gesichtpunkten der Montage und Verpackung.
Aus dem Inhalt
Introduction
Fabrication Technology
Material Characterization
CMOS-based Inertial Sensors
CMOS-based Pressure Sensors
CMOS-based Acoustic Sensors
CMOS-based RF-MEMS
CMOS-based Chemical Sensors
CMOS-based Biometric Sensors
CMOS-bassd Biological Sensors
CMOS-based Thermal Sensors
CMOS-based NEMS
Circuit and System Integration
Assembly and Packaging
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