Dusty Plasmas
Physics, Chemistry and Technological Impacts in Plasma Processing
1. Auflage Juli 1999
X, 408 Seiten, Hardcover
Wiley & Sons Ltd
Kurzbeschreibung
Plasmen, die Staubpartikel enthalten, werden in der Werkstoffverarbeitung seit einigen Jahren verstärkt eingesetzt; so beim Wachstum dünner Filme, beim Ätzen und bei der Oberflächenbehandlung. Das vorliegende Werk ist das erste, das sich ausschließlich diesem Thema widmet. Ausgehend von den physikalischen Grundlagen der Plasmaentstehung in verschiedenen Quellen werden die Eigenschaften der Medien diskutiert; der letzte Teil geht auf die wichtigsten Anwendungsfelder ein. (06/99)
Dusty Plasmas Physics, Chemistry and Technological Impacts in Plasma Processing Edited by André Bouchoule Université d'Orléans, France Dusty Plasmas gives the reader a thorough overview of current knowledge on many aspects of the subject, from the basic science to technological implications. The basic physics and chemistry of dusty plasmas developed in the first two chapters are complemented by the more practical considerations of diagnostics and technological implications in the two final chapters. The book will be of interest to those already involved in or just discovering dusty plasmas in their research and/or industrial activity.
* Physics and Modelling of Dusty Plasmas
* Sources and Growth of Particles
* Diagnostics of a Dusty Plasma
* Technological Impacts of Dusty Plasmas
Sources and Growth of Particles (J. Perrin).
Diagnostics of a Dusty Plasma (L. Boufendi, et al. ).
Technological Impacts of Dusty Plasmas (A. Bouchoule.
Indexes.
