Wiley-VCH, Weinheim CMOS-MEMS Cover Mikrostrukturforschung, Elektronik und Nanotechnologie wachsen im Zuge der Miniaturisierung von Baue.. Product #: 978-3-527-31080-7 Regular price: $279.44 $279.44 Auf Lager

CMOS-MEMS

Brand, Oliver / Fedder, Gary K. (Herausgeber)

Advanced Micro and Nanosystems (Band Nr. 2)

Cover

1. Auflage Januar 2005
XII, 596 Seiten, Hardcover
312 Abbildungen
32 Tabellen
Handbuch/Nachschlagewerk

ISBN: 978-3-527-31080-7
Wiley-VCH, Weinheim

Kurzbeschreibung

Mikrostrukturforschung, Elektronik und Nanotechnologie wachsen im Zuge der Miniaturisierung von Bauelementen zu einem großen interdisziplinären Forschungsgebiet zusammen. Die neue Reihe "Advanced Micro and Nano Systems" widmet sich Technologien, Bauelementen und Systemen aus der Mikro- und der Nanowelt mit Beiträgen renommierter Spitzenforscher. In diesem Band finden Sie ausführliche Angaben zu Sensoren und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) auf CMOS-Basis - von materialtechnischen Aspekten über designspezifische Informationen bis zu Gesichtpunkten der Montage und Verpackung.

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Microstructures, electronics, nanotechnology - these vast fields of research are growing together as the size gap narrows and many different materials are combined. Current research, engineering sucesses and newly commercialized products hint at the immense innovative potentials and future applications that open up once mankind controls shape and function from the atomic level right up to the visible world without any gaps.

Sensor systems, microreactors, nanostructures, nanomachines, functional surfaces, integrated optics, displays, communications technology, biochips, human/machine interfaces, prosthetics, miniaturized medical and surgery equipment and many more opportunities are being explored.

This new series, Advanced Micro and Nano Systems, provides cutting-edge reviews from top authors on technologies, devices and advanced systems from the micro and nano worlds.

Introduction
Fabrication Technology
Material Characterization
CMOS-based Inertial Sensors
CMOS-based Pressure Sensors
CMOS-based Acoustic Sensors
CMOS-based RF-MEMS
CMOS-based Chemical Sensors
CMOS-based Biometric Sensors
CMOS-bassd Biological Sensors
CMOS-based Thermal Sensors
CMOS-based NEMS
Circuit and System Integration
Assembly and Packaging