Microsystem Technology

1. Auflage Dezember 2000
XII, 500 Seiten, Hardcover
400 Abbildungen
20 Tabellen
Handbuch/Nachschlagewerk
Kurzbeschreibung
Das nun auch auf Englisch erschienene Werk gibt einen umfassenden Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik.
Mehr als 200 Abbildungen und Tabellen illustrieren den klar strukturierten Text. Breiten Raum geben die Autoren den wichtigen Verfahren wie Dünnschichttechnik, Lithographie, Silizium-Mikromechanik, LIGA-Verfahren und dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechniken, bevor zum Abschluß die Grundzüge des Systemgedankens beschrieben werden.
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- Gedruckte Ausgabe vergriffen -
Dieses Buch gibt einen umfassenden Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Im Mittelpunkt steht der Systemgedanke, d.h. die Kombination von Mikroelektronik und Mikromechanik zu integrierten Mikrosystemen, die zunehmend für Steuer- und Regelaufgaben in der Umwelt-, Verkehrs-, Verfahrens-, Haus- und Fertigungstechnik sowie der Medizin eingesetzt werden.
Mehr als 200 Abbildungen und Tabellen illustrieren den klar strukturierten Text. Nach einer kurzen allgemeinen Einführung behandeln die Autoren systematisch die theoretischen und methodischen Grundlagen für eine erfolgreiche Arbeit auf diesem zukunftsträchtigen Gebiet. Parallelen zur Mikroelektronik werden gezeigt, eine detaillierte Beschreibung der verwendeten Materialien und eingesetzten Techniken schließt sich an. Breiten Raum geben die Autoren den wichtigen Verfahren wie Dünnschichttechnik, Lithographie, Silizium-Mikromechanik, LIGA-Verfahren und dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechniken, bevor zum Abschluß die Grundzüge des Systemgedankens beschrieben werden.
Das Werk wendet sich an Ingenieurwissenschaftler, besonders der Fachrichtungen Mikrosystemtechnik, Sensorik, Elektrotechnik, Maschinenbau, Meß- und Regelungstechnik sowie an Physiker.
The Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Lithography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology