Etching in Microsystem Technology

Klein aber fein!

Mikrobauelemente in Form elektronischer Chips sind inzwischen jedermann ein Begriff. Aber die kleinen Zauberer können mehr. Komplette miniaturisierte Systeme werden in immer stärkerem Maße eingesetzt, technische Anwendungen erfolgen in den unterschiedlichsten Bereichen wie Kommunikationstechnik, Produktionstechnik, Medizintechnik und Umwelttechnik. Lithographische Ätzverfahren sind die wichtigste Technologie zur Formgebung der Bauteile, ihre sichere Beherrschung erst führt zu Bauteilen in der angestrebten Qualität und mit der nötigen Leistung.

Die wichtigsten mikrolithographischen Naß- und Trockenätzverfahren stellt dieses Buch vor. Um die Charakteristika und Einsatzgebiete der einzelnen Verfahren zu beschreiben, werden ihre Grundlagen erläutert und ihre Bedeutung für die mikrotechnische Struktur des Bauelementes behandelt.

Dieses Buch ist in zwei Teile gegliedert. Im allgemeinen Teil wird das Verständnis für die jeweiligen Verfahren, ihre Anwendungsmöglichkeiten und Vorzüge vermittelt. Der zweite Teil bietet einen Katalog ausgewählter Vorschriften und Parameter und gibt damit allen mit lithographischen Mikrotechniken Arbeitenden einen Leitfaden zur Auswahl geeigneter Ätzverfahren.